電子潔凈廠(chǎng)房的施工特點(diǎn) 

        廣東坤靈今天跟大家共同交流一下關(guān)于電子潔凈廠(chǎng)房的施工特點(diǎn)。這次主要針對半導體工廠(chǎng)一些特點(diǎn)跟大家交流一下，一共五個(gè)部分來(lái)介紹，一個(gè)是廠(chǎng)房的結構特點(diǎn)，還有做這樣的廠(chǎng)房關(guān)鍵的難點(diǎn)，第三部分跟大家介紹一下潔凈廠(chǎng)房事實(shí)供需流程，第四個(gè)部分闡述一下潔凈管制內容，第五個(gè)部分簡(jiǎn)單說(shuō)一下建廠(chǎng)方面的特點(diǎn)和經(jīng)驗。  

潔凈工程有它的特殊性，對于這樣的廠(chǎng)房它的特點(diǎn)非常明顯，第一個(gè)造價(jià)特點(diǎn)貴，隨著(zhù)半導體工程的發(fā)展，這樣對于工廠(chǎng)的品質(zhì)要求越來(lái)越高，TFT工廠(chǎng)也是一樣，TFT工廠(chǎng)本身的玻璃基板的尺寸越來(lái)越大，從原來(lái)的一代線(xiàn)到現在的主流八代線(xiàn)，隨著(zhù)基本尺寸大造價(jià)越來(lái)越高。  

第二個(gè)特點(diǎn)是工期短，由于半導體工廠(chǎng)，TFT工廠(chǎng)的特點(diǎn)投資特點(diǎn)大，所有的建設方盡快短期進(jìn)行生產(chǎn)，取得投資回報，作為施工單位來(lái)講擺在面前的一個(gè)特點(diǎn)就是工期要求非常緊。第三個(gè)特點(diǎn)是品質(zhì)要求非常高，由于電子工廠(chǎng)它對廠(chǎng)房的依賴(lài)程度非常高，建廠(chǎng)當中的事故直接導致產(chǎn)品良品率的高低，第四個(gè)就是高復雜度，對于建廠(chǎng)來(lái)講，專(zhuān)業(yè)技術(shù)問(wèn)題是一個(gè)非常全面的，涵蓋了多專(zhuān)業(yè)、多行業(yè)的問(wèn)題，同時(shí)還有管理的問(wèn)題。第五個(gè)特點(diǎn)是高整合度，對于建廠(chǎng)來(lái)講有這樣五個(gè)特點(diǎn)。  

主要的實(shí)施供需給大家做一個(gè)介紹，對于建廠(chǎng)來(lái)講，對于潔凈工程施工來(lái)講我們一般情況下是根據潔凈室的裝修作為控制的主線(xiàn)來(lái)考慮，首先我們做得是工作面分析，工作面我們要求封閉，整個(gè)廠(chǎng)房封閉以后才能作為潔凈工程的開(kāi)始，如果沒(méi)有封閉的話(huà)，也要采用臨時(shí)的封閉，保證我們封閉施工作業(yè)。夾層地板安裝完成這個(gè)工作面的完成標志著(zhù)上下兩個(gè)工作面可以同時(shí)展開(kāi)施工作業(yè)。上面的工作主要是完成風(fēng)管的安裝，支架的安裝等等。下面的工作主要是工業(yè)管線(xiàn)的作業(yè)，這樣的做法在目前做大面積廠(chǎng)房主流的施工方式，這個(gè)施工方式證明也是非常成功的，可以有效的解決安全問(wèn)題，一個(gè)是高空掉落或者上下面的干擾。我們現在看到的這個(gè)圖就是分層作業(yè)面的示意圖，當我們活動(dòng)地板完成以后，可以分成三個(gè)層面作業(yè)，可以保證工作有效的推進(jìn)。第四個(gè)主要給大家介紹潔凈管制方面的內容，剛才講到過(guò)，對于潔凈工程來(lái)說(shuō)，相比其他的潔凈工程最大的區別就是要求全過(guò)程的潔凈管控，潔凈管控主要有五個(gè)方面控制，第一個(gè)方面就是進(jìn)入潔凈室施工人員的管制，因為人是帶入廠(chǎng)房里面主要的污染來(lái)源。第二是出入潔凈室管制區服裝的規定，第三個(gè)是進(jìn)出潔凈室物料的管控，對于這個(gè)部分的控制和人的控制都是我們核心需要控制的內容。第四個(gè)要介紹潔凈室內施工管制，第五個(gè)部分就是人員和物料的動(dòng)線(xiàn)，我們設置一個(gè)人流的通道口，這個(gè)是唯一的，通過(guò)這個(gè)唯一的通道口進(jìn)入潔凈室。  

對于潔凈室管理我們公司對于高端的潔凈廠(chǎng)房我們把它劃分成五個(gè)階段，第一個(gè)階段是建筑物施工完成，將建筑物進(jìn)行封閉，如果施工單位沒(méi)有封閉，我們會(huì )臨時(shí)進(jìn)行封閉，保證廠(chǎng)房是在封閉的空間進(jìn)行施工，這樣的目的是減少灰塵帶入潔凈室。主要的施工內容是對所有產(chǎn)生灰塵的作業(yè)都在這一階段進(jìn)行完成，包括地面的打磨，包括支架開(kāi)孔的都會(huì )在第一階段完成。    

第二部分是要對潔凈室土建進(jìn)行封閉，使混凝土地面不會(huì )再產(chǎn)生。第三個(gè)潔凈室周?chē)鷫Π迨┕ね瓿?，最后一個(gè)是正壓送風(fēng)新風(fēng)管安裝完成，新風(fēng)機安裝完成。  

對于人員服裝的管理要求，是要求所有進(jìn)入潔凈區的工作人員一定要進(jìn)行培訓，對于他們的服裝要求一般的工作服就可以，但是必須要干凈，鞋子也是一樣。潔凈室內清掃管理上也是這樣，作業(yè)區作業(yè)以后必須要清掃，打掃完成以后才能離開(kāi)，每周進(jìn)行全面的清潔清掃。潔凈管理的第二階段是潔凈室的四周已經(jīng)封閉完成，往里面進(jìn)行正壓送風(fēng)，主要是控制廠(chǎng)房外面的灰塵進(jìn)入到廠(chǎng)房里面來(lái)。這個(gè)階段主要的特點(diǎn)在服裝上面要穿室內安全鞋。服裝管理上面跟第一階段一樣要求穿干凈的工作服，清掃方面我們采用一般的吸塵器進(jìn)行洗塵。  

第二階段完成以后進(jìn)入第三階段，進(jìn)入第三階段以后相區別上面的階段主要是要求在二層作業(yè)的時(shí)候要穿專(zhuān)用的軟底鞋。還有一個(gè)就是不允許電弧焊，只允許動(dòng)用氬弧焊。第三階段的服裝管理要求干凈的工作服，二層要穿室內專(zhuān)用的軟底鞋，作業(yè)結束后必須清潔干凈，這個(gè)階段的吸塵器是要求帶高效過(guò)濾器的真空吸塵器。  

第三階段完成以后會(huì )轉入到第四階段的施工作業(yè)，到第四階段的施工作業(yè)來(lái)講，相對于第三階段最大區別是我們要求進(jìn)入潔凈室工作人員要穿潔凈服，這個(gè)階段主要工作內容是完成高效過(guò)濾器和FFU的安裝和FFU的界限，下夾層動(dòng)力設備的施工，電器設備的檢查、各種報警的確認。對于這個(gè)階段來(lái)講潔凈服要求是非常嚴格的，對于清掃來(lái)講使用不發(fā)塵的無(wú)塵布，專(zhuān)門(mén)清潔人員用酒精或防靜電清潔液擦洗，并采用高效過(guò)濾器進(jìn)行清掃。  

最后一個(gè)階段，這個(gè)階段主要工作是對潔凈室的環(huán)境進(jìn)行測定，所有的施工工作在第四階段完成了，第五是對環(huán)境的測定，這個(gè)相對于第四階段主要區別，對于潔凈人員來(lái)講不但是穿潔凈服和潔凈鞋，另外還要戴潔凈手套及口罩，清掃管理跟第四階段一樣。  

人員出入口管制，剛才介紹過(guò)整個(gè)廠(chǎng)房里面設置一個(gè)人員的入口，我們會(huì )在這個(gè)管制口里面設置這樣一些區域，第一個(gè)區域是換鞋區。第二是更衣區。第三個(gè)區是登記區。進(jìn)入這三個(gè)區以后才能順利進(jìn)入潔凈室進(jìn)行施工。物料也是一樣，我們也是要求物料進(jìn)行清潔完以后進(jìn)行檢查，檢查以后進(jìn)行登記最后才能進(jìn)入潔凈區。  

接下來(lái)簡(jiǎn)單把公司的情況做一個(gè)介紹，我們公司是一個(gè)專(zhuān)業(yè)做潔凈廠(chǎng)房的公司，我們公司是2008年成立的，目前公司核心業(yè)務(wù)是做潔凈室建設方面有關(guān)的工作，各項體系措施都是比較全面。原來(lái)我們公司是安裝施工企業(yè)，現在進(jìn)行潔凈室系統的服務(wù)，包括設計、咨詢(xún)、建造、調試、運行、維護進(jìn)行全過(guò)程的服務(wù)，謝謝大家。