摘要：超凈工作臺(tái)儀器校準(zhǔn)流程：潔凈工作臺(tái)泄漏檢測(cè)發(fā)送到高校空氣過(guò)濾器上游側(cè)，使用采樣器對(duì)高效過(guò)濾器下游約2.5cm處的檢漏儀進(jìn)行檢查掃描，檢查速度小于等于每秒5cm。當(dāng)下游濃度與上游濃度之比大于0.01%時(shí)

超凈工作臺(tái)儀器校準(zhǔn)流程：

潔凈工作臺(tái)泄漏檢測(cè)

發(fā)送到高校空氣過(guò)濾器上游側(cè)，使用采樣器對(duì)高效過(guò)濾器下游約2.5cm處的檢漏儀進(jìn)行檢查掃描，檢查速度小于等于每秒5cm。當(dāng)下游濃度與上游濃度之比大于0.01%時(shí)，認(rèn)為潔凈工作臺(tái)存在明顯泄漏，應(yīng)停止泄漏。

潔凈工作臺(tái)的清潔度

采樣時(shí)可使用28.3/min的塵埃粒子計(jì)數(shù)器或小流量塵埃粒子計(jì)數(shù)器，但采樣量應(yīng)小于1升。當(dāng)進(jìn)氣口的氣溶膠濃度達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)時(shí)，在距主過(guò)濾器或整流柵出口250毫米處的平行段中心連續(xù)測(cè)試5次，取平均值。

潔凈工作臺(tái)風(fēng)速

在主過(guò)濾器或擴(kuò)散器下游10cm的平面上，將平面區(qū)域分成至少12個(gè)相等的區(qū)域。每個(gè)區(qū)域的中心為風(fēng)速測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)測(cè)試點(diǎn)之間的距離不應(yīng)大于25cm。用熱球風(fēng)速計(jì)或熱敏電阻風(fēng)速計(jì)測(cè)量各點(diǎn)風(fēng)速，取平均值作為截面風(fēng)速。

潔凈工作臺(tái)噪音

噪聲環(huán)境是在相對(duì)開(kāi)闊、反射強(qiáng)烈的室內(nèi)地面上測(cè)量的。如果設(shè)備操作區(qū)開(kāi)口處有擋板，應(yīng)全部打開(kāi)，并特別注意避免氣流引起的風(fēng)壓和振動(dòng)的影響。噪聲測(cè)量點(diǎn)應(yīng)布置在工作臺(tái)中心，距離工作臺(tái)前緣20cm，高度110cm，共四次，取平均值作為測(cè)量結(jié)果。

潔凈工作臺(tái)振動(dòng)

潔凈的工作臺(tái)應(yīng)放在震動(dòng)小的地面上，避免周圍環(huán)境的影響。在正常操作環(huán)境下，工作臺(tái)會(huì)將振動(dòng)分析儀的拾振裝置放置在操作面的幾何中心，測(cè)量x、y、z三個(gè)軸的總振動(dòng)祝福值。

潔凈工作臺(tái)照明

正負(fù)1.5%以內(nèi)，100 kV范圍的頻響誤差比較大，測(cè)量重復(fù)性比較低。