無塵衣和帽子：材料以洗后或使用其它處理后仍不會發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物之材質(zhì)，另外經(jīng)過磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙或無紡布制成，帽子材質(zhì)則與無塵衣相同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。無塵室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑料底，布質(zhì)部分則采用與潔凈服相同材質(zhì)即可，鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂，在使用過程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用，手套表面有粉質(zhì)時須去除或停用，原則上不使用手套為佳。

桌椅：桌椅一般以不銹鋼材質(zhì)，并需表面加工處理為之，若不得不使用鍍鋅品或木制品，其表面須施環(huán)氧樹脂（Epxoy）加工以防表面發(fā)塵。工作桌最好有打洞，邊緣有倒角。以利氣流之運動。椅子盡量采用沒有背及腳踏板者，椅腳高度以坐下來腳可以觸到地板者為原則。但若一定須使用高腳椅時，則要準備腳踏環(huán)。桌及椅子之腳最好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。

真空吸塵器，其功能是在吸取無塵室內(nèi)地板上、下及設備上附著之塵?；蛞后w以防止這些塵粒之再飛揚，以達到清潔的目的，由于真空吸塵器在作業(yè)時會有排氣產(chǎn)生，若未經(jīng)處理，將嚴重影響無塵室之潔凈度和氣流，因而真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過濾器，以除去塵埃。唯現(xiàn)今之高級無塵室均設有中央式吸塵系統(tǒng)，并于現(xiàn)場預留吸塵口，故一般之清潔過程均利用此中央系統(tǒng)，以減少使用真空吸塵器時的氣流干擾,在使用中央式系統(tǒng)時，須注意排氣旦之控制避免使無塵室內(nèi)之壓力降低至規(guī)定范圍以下。至于真空吸塵器因?qū)贌o塵室內(nèi)專用，故不可移至室外使用，若不用時應置于較低等級的無塵室中，旦每次使用后應清掃吸管、收塵箱等吸氣系統(tǒng)。

無塵布：易清洗，擦拭中不易產(chǎn)生灰塵異物。

搬運車：需要完全密閉，有簾子，用耐磨的橡膠輪胎，推送時不得急速動作。

垃圾桶：一般使用不銹鋼或塑膠制品，定期清理。

告示板：主要用油性筆涂寫，用酒精擦拭。

紙張：用剪刀剪取使用，不能手撕。

1）紙張、文具

(1)除無塵室專用紙外，其余紙類不得攜入使用。

(2)規(guī)范、手冊等文件若以非無塵紙影印、須加以塑料套封裝，擦拭乾凈后，再送入無塵室。

(3)無塵室內(nèi)使用原珠筆或油性簽字筆(投影筆)書寫；鉛筆、白板筆、橡皮擦、修正液及釘書機等文具，嚴禁攜入使用。

2）操作手冊等文件若非無塵室之專用紙，每頁加以塑料套封裝成冊，置放及翻閱處應遠離機臺、產(chǎn)品，同時不得攜出無塵室。

3）凡欲攜入無塵室之零配件、工具、儀器等均需以無塵拭紙擦拭乾凈。

4）無塵室內(nèi)使用的工具器材，如桌椅、推車、吸塵器，均需符合無塵規(guī)范。

5）清潔人員收取垃圾時，必須先將塑料袋口封緊，再取出塑料袋，禁止用傾倒方式，以避免產(chǎn)生灰塵。